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   中導(dǎo)光電線寬測(cè)量設(shè)備（CDOL），其主要應(yīng)用于平板顯示前道制程領(lǐng)域的關(guān)鍵線寬尺寸測(cè)量，最高測(cè)量精度為亞微米級(jí)，處于國內(nèi)領(lǐng)先和國際先進(jìn)水平。