近日，中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司（簡稱“中導(dǎo)光電”）納米級圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備（NanoPro-150）再次交付客戶，標(biāo)志著中導(dǎo)光電在半導(dǎo)體前道圖形晶圓檢測設(shè)備市場化道路上闊步前行。
前道圖形晶圓檢測設(shè)備是半導(dǎo)體芯片制造過程中的核心設(shè)備之一，技術(shù)門檻高，難度大，是檢測設(shè)備的主戰(zhàn)場。此次交付用戶的NanoPro-150產(chǎn)品靈敏度系納米級序列，充分滿足半導(dǎo)體芯片90nm及以上產(chǎn)線制造工藝需求。本次交付的設(shè)備將用于國內(nèi)功率半導(dǎo)體頭部公司的量產(chǎn)線，加之前期該型號設(shè)備已在功率半導(dǎo)體知名企業(yè)產(chǎn)線長期量產(chǎn)使用，表明該產(chǎn)品尤為受到功率半導(dǎo)體公司的青睞和歡迎。
NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端產(chǎn)品，除與國際頂尖公司同類產(chǎn)品在靈敏度、檢出速度等主要性能參數(shù)相近外，還開發(fā)和引入了許多先進(jìn)的AI算法和軟件，進(jìn)一步提高了信噪比，顯著提升了設(shè)備在關(guān)鍵制程的缺陷檢測靈敏度和檢出率。同時，該產(chǎn)品實現(xiàn)了精密光機(jī)電關(guān)鍵核心部件的國產(chǎn)化和自主可控，為產(chǎn)品的量產(chǎn)和穩(wěn)產(chǎn)奠定了堅實基礎(chǔ)。
中導(dǎo)光電是國內(nèi)半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體前道圖形缺陷檢測設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)，也是國家專精特新 “小巨人” 企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)，有著豐富的技術(shù)積累和完全的自主產(chǎn)權(quán)。在過去十多年的經(jīng)營中，公司的亞微米級和微米級設(shè)備累計銷售逾350臺，長期穩(wěn)定地運行在眾多量產(chǎn)線中。公司目前進(jìn)入銷售和量產(chǎn)的NanoPro-1XX系列產(chǎn)品和MDI亞微米檢測設(shè)備，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX即將先后進(jìn)入市場，可望覆蓋國內(nèi)半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備需求市場的90%以上，給中國半導(dǎo)體工業(yè)檢測設(shè)備的國產(chǎn)化描繪出一片光明前景。
